2008年 8月
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本社及びパネトロン株式会社を神奈川県横浜市都筑区から神奈川区に移転。
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エンジニアリングセンターを神奈川県横浜市都筑区に開設。
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2010年11月
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神奈川県横浜市都筑区に横浜港北物流センターを開設。
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2010年12月
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東京証券取引所市場第一部銘柄に指定。
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2012年 4月
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東京エレクトロンデバイス子会社であるパネトロン株式会社が株式会社アムスクからテキサス・インスツルメンツ社製品に係る販売代理店事業を譲受け。
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2012年 8月
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上海に現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (SHANGHAI) LTD.を設立。
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2013年 9月
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サンノゼに現地法人inrevium AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立。
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2014年 4月
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東京エレクトロンデバイス株式売出しにより東京エレクトロン株式会社が東京エレクトロンデバイスの親会社からその他の関係会社に変更。
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2014年 9月
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東京都新宿区に新宿サポートセンターを開設。
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2015年 8月
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バンコクに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE (THAILAND) LIMITEDを設立。
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2016年 4月
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サニーベールに現地法人TOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)を設立。
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2017年 1月
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現地法人inrevium AMERICA, INC.(現 TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.)をサンノゼからフリーモントに移転。
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2017年 7月
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株式会社アバール長崎(現 東京エレクトロン デバイス長崎株式会社)の株式取得により同社を連結子会社化。
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2018年 7月
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パネトロン株式会社を吸収合併。
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株式会社ファーストの株式取得により同社を連結子会社化。
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2019年 5月
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TOKYO ELECTRON DEVICE AMERICA, INC.がTOKYO ELECTRON DEVICE CN AMERICA, INC.を吸収合併。
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2022年 4月
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東京証券取引所の市場区分の見直しにより市場第一部からプライム市場へ移行。
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2023年10月
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日本エレクトロセンサリデバイス株式会社からウェーハ検査装置事業を譲受け。
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2024年10月
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本社を神奈川県横浜市神奈川区から東京都渋谷区に移転。
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2025年 1月
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株式会社ファーストを吸収合併。
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